• 平台简介
  

欧宝app官方网站下载物理与天文学院微纳加工与测试平台成立于2020年，现有实验面积600多平方米。平台面向校内外用户提供个性化高精尖科研支持服务，特别注重学生能力培养和提升。通过平台专业培训后，学生可亲自动手操作所有设备，实现对复杂微纳加工工艺和条件的探索，支撑高质量研究成果的产出。

• 平台设备

超净间	非超净间
扫描电子显微镜&电子束曝光	综合物性测量系统（PPMS)
电子束曝光系统	热蒸发镀膜仪
紫外直写光刻机	原子力显微镜(室温)Cypher
紫外光刻机(需掩模版）	原子力显微镜(室温)Park
反应离子刻蚀机(RIE)	单晶和粉末X射线衍射仪
反应离子刻蚀机（Oxford PlasmaPro 80）	X射线单晶Laue定向仪
电子束蒸发+热蒸发金属镀膜	光学浮区炉
热蒸发&电子束蒸镀设备	半导体器件参数分析仪
原子层沉积系统（ALD)	超声焊线机
等离子体灰化机	临界点干燥仪
等离子体清洗机	高真空磁控溅射仪
光学显微镜	数字源表
光学显微镜（带荧光成像）	高分辨变温拉曼光谱仪
甩胶机，加热板	锁相放大器
真空干燥箱	高真空分子泵组