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微米/纳米加工技术国家级重点实验室
日期：2022-08-26 阅读：940
基地名称（中文）：微米/纳米加工技术国家级重点实验室
基地名称（英文）：National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication
基地图片
基地简介：微米/纳米加工技术国家级重点实验室于1996年10月经上级机关批准建设，由北京大学和欧宝app官方网站下载共同承担。2000年12月，实验室（欧宝app官方网站下载部分）通过验收投入正式运行。
微米/纳米加工技术国家级重点实验室（欧宝app官方网站下载部分）建立以来，紧紧围绕非硅三维微加工技术，开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究，突破了一系列关键技术，开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术，建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范，研制了一批关键MEMS器件。
地址：上海市东川路800号电子信息与电气工程学院
邮编：200240 邮箱：seiee@sjtu.edu.cn
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