%0 Journal Article %A 黄德进 %A 王骥 %A 罗昕逸 %T 初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响 %D 2013 %R %J 振动与冲击 %P 146-148 %V 32 %N 10 %X

本文研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响。利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程。然后根据边界条件,求出问题的解。得到了串联和并联谐振频率,并给出了具体的数值算例,讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响。所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义。

%U https://jvs.sjtu.edu.cn/CN/abstract/article_3079.shtml