初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响

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振动与冲击 ›› 2013, Vol. 32 ›› Issue (10) : 146-148.

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EFFECTS OF INITIAL STRESSES ON RESONANCE CHARACTERISTICS OF FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR IN THICKNESS-EXTENSION MODE

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